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日本宣布开发出新技 可大幅降低极紫外光刻设备耗电量和制造成本江卖/div>

类别：行业资 发布时间?024-08-17 22:43:24 浏览９script type="text/javascript"> function tag_arcclick(aid) { var ajax = new XMLHttpRequest(); ajax.open("get", "/index.php?m=api&c=Ajax&a=arcclick&aid="+aid+"&type=view", true); ajax.setRequestHeader("X-Requested-With","XMLHttpRequest"); ajax.setRequestHeader("Content-type","application/x-www-form-urlencoded"); ajax.send(); ajax.onreadystatechange = function () { if (ajax.readyState==4 && ajax.status==200) { 　　　　document.getElementById("eyou_arcclick_1723905842_"+aid).innerHTML = ajax.responseText; 　} } }

　　江南【日本宣布开发出新技 可大幅降低极紫外光刻设备耗电量和制造成本??3日消息，日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术，可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本江南。这项技术将从设备的光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来?0个减少到4个。以EUV光源为中心，整体耗电量可减至原来的约十分之一。设备的结构也可大幅简化，因此当前估计需?00亿日元左右的设备引入成本几乎可以减半。该大学将与企业合作，力争实现这种设备的日本国产化、/p>

　　8?3日消息，日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术，可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。这项技术将从设备的光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来?0个减少到4个。以EUV光源为中心江南，整体耗电量可减至原来的约十分之一。设备的结构也可大幅简化江南，因此当前估计需?00亿日元左右的设备引入成本几乎可以减半、/p>

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